일반기술
액상 유기 화합물을 전구체로 한 다이아몬드의 제조방법
본 발명은 액상 유기 화합물을 고주파 플라즈마에 의해 분해시켜 다이아몬드를 제조하는 방법에 관한 것으로, 구체적으로는 액상 유기 화합물을 전구체 (precursor)로 사용하고, 보조가스로 수소를 첨가하여액상 유기 화합물을 고주파 플라즈마에 의해 분해시킴으로써 기판 위에서 다이아몬드가 합성되도록 하는것을 골자로 하며, 본 발명의 제조방법은 다이아몬드의 원료로서 액상의 유기 화합물을 사용하여 기존의다이아몬드 합성 공정상의 전구체로 사용되던 기체상 전구체가 가지고 있던 보관 및 취급의 곤란으로 인한 사용상의 제한을 극복하고, 다양한 액상 유기화합물을 다이아몬드 합성의 전구체로 사용함에 있어서최적 공정조건을 확인함으로써 이를 통해 상용화가 가능하도록 한 다이아몬드 합성공정이다.
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 기타 화학공정
- 보유기관
- 인하대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-10-04
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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