일반기술
플라즈마제트를이용하여다이아몬드를고속으로제조하는방법
본 발명은 DC 열 플라즈마 CVD법을 이용하여 다이아몬드를 제조하는데 있어서, 기판 위에 다이아몬드를 고속으로 성장시킬 수 있는 다이아몬드의 제조방법에 관한 것으로, 구체적으로 진공 펌프 (vacuum pump)로 반응기 내의 공기를 제거한 후 플라즈마 가스 분위기를 만든 다음 플라즈마 제트 (plasma jet)를 이용하여 원료가스인 메탄을 수소와 충분히 혼합하여 다이아몬드를 기판 위에 증착시키는 과정에서 수소에 대한 원료가스의 유량비, 기판의 온도 범위 및 증착시간 등의 여러 가지 공정조건을 조절하는 본 발명의 방법은 다이아몬드를 고속으로 기판 위에 증착시킬 수 있을 뿐만 아니라 공정조건을 조절하여 다이아몬드 필름의 두께를 조절함으로써 절삭공구나 반도체 재료, 열 흡수체 제조에 효율적으로 응용할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 기타 화학공정
- 보유기관
- 인하대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-10-04
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.