일반기술

고속 회전판을 이용한 입자 차단장치

본 기술은 고속 회전판을 이용한 입자 차단장치에 관한 것으로, 그 목적은 증착물질의 관찰창 코팅을 방지하여 용기내부 관찰을 용이하게 하고, 작업 효율과 생산성 및 품질을 향상시키는 고속 회전판을 이용한 입자 차단장치를 제공하는 것이다.본 기술은 증착물질의 관찰창 코팅을 방지함으로써 달성되는데 즉, 진공 용기 외부에 설치되고, 일측에 모터 속도 조절기가 설치되어 속도조절이 가능한 AC 모터 모터와 유니버설 조인트에 의해 회전축의 일측이 연결되고, 진공용기 외부에 설치되는 피드 스루(feed through), 피드 스루가 고정·설치되고, 일측에 관찰창이 설치된 플랜지, 모터와 일측이 연결된 피드 스루 회전축의 타측과 일측이 연결되고, 지지대에 의해 플랜지에 고정되도록 설치된 베어링에 양측단이 지지되며, 진공용기내에 위치하는 회전축, 회전축의 중간부에 일정간격을 유지하며 설치되고, 중앙부에 회전축이 관통하는 삽입홀이 형성된 두 개의 회전판, 회전판의 삽입홀을 중심으로 서로 대칭되는 위치에 각각 형성된 두 개의 슬릿을 포함하여 구성되어 모터의 회전에 의한 회전판의 고속회전에 의해 일정속도 이하의 입자를 차단하는 고속 회전판을 이용한 입자 차단장치를 제공함에 있다.