일반기술

광섬유로 전송되는 레이저를 이용한 원자밀도 측정장치

원소의 표면증착시 원자밀도를 정확히 측정할 수 있도록 하는 광섬유로 전송되는 레이저를 이용한 원자밀도 측정장치가 제공된다. 원자밀도 측정장치는, 원자증기 발생기를 갖춘 진공용기와, 그 내부에 이동 가능하게 배치되고, 서로 일지점에서 만나도록 일체로 관통된 레이저통로와 원자증기통로를 구비한 이동체와, 레이저통로의 일측에 제공되며, 레이저(L)를 진공용기 내부로 입사시키도록 일측에 연결되는 제 1 광섬유 및, 입사된 레이저(L)를 정준시키어 원자증기(V)를 통과시키도록 타측에 배치되는 제 1 볼록렌즈(34)를 구비한 제 1 광섬유 정준원통 및, 이동체 레이저통로의 타측에 제공되고, 원자증기(V)를 통과하면서 흡수되어 강도가 감소한 레이저(L’)를 집속토록 일측에 설치되는 제 2 볼록렌즈 및, 감도된 레이저(L’)를 진공용기 외부로 전송시키는 제 2 광섬유를 갖춘 제 2 광섬유 정준원통으로 구성되어 있다. 따라서, 이와 같은 본 기술에 의하면, 레이저를 광섬유를 이용하여 진공용기 에서 전송시키면서, 원자증기를 지나게 하여 레이저의 흡수된 정도를 측정하여 원자밀도를 저렴하면서도 간편하게 측정함은 물론, 광섬유에서 전송되는 상기 레이저가 원자증기를 지나는 동안 발생되는 형광세기를 계측하여 고감도 측정 및 파장제어를 가능하게 하는 효과를 제공하는 것이다.