일반기술
신규의 철(III) 아미노알콕사이드 화합물 및 그 제조 방법
○ 개요- 본 발명은 신규의 3가 유기 철 아미노알콕사이드 화합물 및 그 제조방법에 관한 것- 보다 상세하게는 금속 유기물 증착법(MOCVD)으로 철 산화물 박막을 제조 및 나노크기의 철 산화물 입자를 제조하기 위한 선구물질로 유용한 철 아미노알콜사이드 화합물 및 그 제조방법에 관한 것○ 배경- 본 발명자들은 신규한 리간드로 디알킬 아미노알콕사이드를 철에 배위하도록 하여 탄소나 할로겐의 오염을 일으키지 않으며, 열적 안정성과 휘발성이 개선되어 MOCVD 원료 물질로서 적당하고, 유기 용매에 대한 용해도가 증가됨을 알고, 본 발명을 완성하게 되었음○ 특성 및 장점 - 휘발성이 매우 높고 열적으로 충분히 안정함- 유기용매에 대한 용해도가 우수함- 금속 막의 우수한 질을 요구하는 금속 유기물 화학 증착법(MOCVD) 또는 철 산화물 나노입자를 형성할 수 있는 선구물질로서 유용하게 사용
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 화학·환경기능재료
- 보유기관
- 한국화학연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-10-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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