일반기술

자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법

○ 기술발명의 목적 :마그네타이트 나노입자들이 용액내에 균일하게 분산 되어 있는 자성 유체를 촉매 금속으로 이용하여 탄소나노튜브를 합성함.○ 기술 요약 및 특징 :열화학 기상 합성 방법에 의한 탄소나노튜브 합성 시, 촉매 금속의 증착 방법으로 PVD 및 도금 방법에 의한 방법이 아닌, 자성 유체를 이용하여, 촉매 금속 나노입자를 기판상에 도포하여, 이를 이용하여, 탄소나노튜브를 대량으로 합성할 수 있는 공정 특허임.본 기술은 열 화학 기상 증착법에 의한 탄소 나노튜브 합성시 촉매금속으로서 자성유체를 사용하고, 촉매금속의 나노 사이즈가 제어되도록 하고, 촉매금속이 기판에 균일하게 도포되도록 하고, 바인더 등의 희석제와 동시에 사용해 밀도를 조절하고 또한 촉매금속을 박막증착에 의하지 않고 도포하는 방법에 의해 다량의 기판을 동시에 제공하며, 탄소 나노튜브의 합성이 배치공정과 연속공정으로 수행되도록 한 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법에 관한 것이다. 본 기술에 의해 열 화학 기상 증착법에 의한 탄소 나노튜브 합성에 있어서 박막증착의 경우처럼 선행공정으로 열처리 과정을 수행할 필요가 없고, 별도의 촉매금속 증착장치가 불필요하므로 저가의 나노 사이즈의 촉매금속을 다량 제조할 수 있다. 또한 성장되는 탄소 나노튜브의 분포와 밀도를 제어할 수 있으며, 동일한 품질의 균일한 탄소 나노튜브의 성장이 가능하고, 탄소 나노튜브의 품질이 우수하다. 또한 생산율이 높고 설비투자가 저렴하여 저가 및 대량생산에 유리하다.