일반기술
텅스텐-텔루라이트 유리박막의 제조 방법 및 텅스텐-텔루라이트 유리박막을 갖는 광대역 평판형 증폭기
본 발명은 광대역 평판형 증폭기에 관한 것으로 특히, 텅스텐-텔루라이트 유리박막의 제조 방법 및 텅스텐-텔루라이트 유리박막을 갖는 광대역 평판형 증폭기에 관한 것이다.본 발명은 텔루르 옥사이드 (Tellurium (VI) oxide)와 텅스텐 옥사이드 (Tungsten (VI) oxide)를 고상소결법을 이용하여 텅스텐 텔루라이트(TeO2-WO3)의 타겟을 제조하는 단계; 모재를 세척하는 단계; 증착 챔버내에서 RF스퍼터링을 이용하여 타겟 물질을 상기 모재에 증착시켜 텅스텐-텔루라이트박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 특수기능재료
- 보유기관
- 전남대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-11-05
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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