일반기술
응력 완화층을 구비한 질화물계 발광소자 및 이의 제조방법
본 기술은 실리콘 기판(실리콘 기판의 표면 패터닝) 및 펴면 패터닝된 실리콘 기판상에 적어도 1이상의 질화물 박막층이 순차 적층된 구조체를 포함하는 질화물계 발광소자를 제공한다. 질화물계 발광소자는 갈륨 질화물의 성장과정에서 박막 내의 결정결함과 응력을 동시에 줄여 에너지의 손실을 감소시켜 고효율의 광소자 및 전기소자를 구현하는 것이 가능하고, 결정성을 향상시켜 갈륨 질화물 소자의 신뢰성을 향상시키는 것이 가능하다.실리콘 기판 표면을 페터닝하여 갈륨질화물 박막을 성장시키는 것에 의해, 표면 패터닝된 실리콘 기판의 결정결함 및 응력 등이 갈륨 질화물의 결정으로 진행되는 것을 막아 고품질의 갈륨 질화물 결정을 성장시킬 수 있다. 이에따라 에너지 손실을 감소시켜 고효율의 광소자 및 전기소자를 구현하는 것이 가능하고, 결정성을 향상시켜 갈륨 질화물 소자의 신뢰성을 향상시키는 것이 가능하다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 화합물반도체 (B63)
- 보유기관
- 한국광기술원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-06
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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