일반기술

광반사각 미소변위 제어를 위해 반사표면에 박막 코팅된 회전다면경

본 기술은 투사(Projection) 디스플레이, 프린터 및 스캐너 등 광학장치에 핵심적으로 사용되는 회전다면경(Polygon mirror)의 반사면 반사각에 대한 미소변위 제어를 위한 반사면 두께분포(Profile) 정밀제작 방법으로써, 기존의 연삭가공 방법으로 구현하기 힘든 서브마이크로 이하 정밀도를 용이하게 구현할 수 있는 방법이며, 이를 위해 반사박막을 진공증착 방법으로 제작하되 증착챔버 구조변경 또는 마스크 적용 등 미세한 두께분포를 얻기 위한 방법에 관한 것이다.횐전다면경으로부터의 반사광을 θ 방향 뿐만 아니라 박막코팅을 통해 y-방향으로도 스캔할 수 있는 방법을 제시하였고, 또한 위에서 언급된 방법을 사용하여 y-방향 반사각을 매우 높은 수준의 정밀도로 조절할 수 있는 방법이다. 이는 기존의 프린터, 스캐너 및 투사 디스플레이에도 새로운 응용분야로서 확대 적용될 수 있으며, θ방향 뿐만 아니라 매우 높은 y-방향 정밀도를 갖는 게측, 의료 및 영상 광학시스템에도 응용분야 확대가 가능하다.