일반기술
나노 입자의 제조방법
본 기술은 나노 입자의 제조방법에 관한 것으로서, 기판상에 나노 입자를 형성할 재료로 박막을 형성하고, 박막 상부에 감광성 수지를 도포한 후 패턴을 형성하며, 패턴을 마스크로 하여 박막을 식각함으로써 기판상에 나노 입자를 형성하고,재료의 용융점까지 온도를 높여 열처리하며, 온도를 상온으로 낮춘 후, 나노 입자를 기판에서 분리하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 의하면 기판상에 증착되는 박막의 두께와 박막 상부에 형성되는 감광성 수지 패턴의 면적을 조절함으로써 균일한 크기의 나노 입자를 제조할 수 있고, 나노 입자를 이루는 재료의 용융점까지 온도를 높여 열처리를 함으로써, 구형의 형상을 가지는 나노 입자를 얻을 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 원료제조 공정기술
- 보유기관
- 호서대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-07
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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