일반기술

반도체 장비 인터페이스 장치 및 이를 이용한 모니터링 시스템

본 기술은 반도체 장비 인터페이스 장치 및 이를 이용한 모니터링 시스템에 관한 것으로, 상이한 프로토콜을 통해 송수신되는 반도체 장비들의 메시지들을 통합 XML(eXtensible Markup Language) 메시지 형태로 변환하는 인터페이스 장치 및 이를 이용한 반도체 장비들에 대한 분산 또는 통합 메시지 모니터링이 가능하게 하는 모니터링 시스템에 관한 것이다. 본 기술에 따르면 반도체 장비 인터페이스 장치가 SECS-Ⅰ또는 HSMS 프로토 콜을 통해 송수신되는 반도체 장비들의 메시지들을 통합하여 XML 형태의 메시지로 표준화된 형태의 데이터 포맷으로 변환시켜 제공해 준다. 이에 따라, 반도체 생산 공정 모니터링에 대한 통합된 프로토콜을 제공해 주어 반도체 장비들의 메시지들을 모니터링하는 시스템을 구성하는데 통합 모니터링이 가능하게 해 줌으로서 시스템 구성상에 비용을 절감시켜 주며, 통합적인 메시지 모니터링을 통해 반도체 생산 공 정의 전반에 걸쳐 모니터링을 효율적으로 수행할 수 있도록 해 준다. 또한, 통합 모니터링 외에도 반도체 메시지들의 특성별 분산 모니터링을 하 여 모니터링 시스템의 안정성을 확보할 수 있도록 해 준다.