일반기술
반도체 장비와 호스트 사이에 전송되는 메시지 변환방법
본 기술은 반도체 장비와 호스트 사이에 전송되는 메시지 변환 방법에 관한 것으로, 특히 여러 반도체 장비들에 대한 효율적인 모니터링이 수행될 수 있도록 SECS-Ⅱ 메시지를 규격화된 데이터 포맷으로 변환하는 반도체 장비와 호스트 사이에 전송되는 메시지 변환 방법을 제공하는데 있다. 본 기술은, 반도체 장비와 호스트 사이에 전송되는 SECS-Ⅱ 메시지를 수신받아 SECS-Ⅱ 메시지의 헤더 및 데이터를 분석하는 단계, 그 메시지 내에 포함된 데이터를 기 설정해 놓은 자기기술(Self Description) 각 요소에 매핑하는 단계, 그리고 자기기술 요소에 매핑시킨 메시지 데이터를 XML 형태로 변환하는 단계로 구성된다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
- 보유기관
- 호서대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-07
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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