일반기술
비접촉식 웨이퍼 척 조립체
본 기술은 웨이퍼 척에 관한 것으로, 공기압에 의해 비접촉식으로 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 척 조립체에 관한 것이다.본 기술에 따른 비접촉식 웨이퍼 척 조립체는, 디스크 형상이고, 내부에 형성된 팬챔버와, 상면으로 개방되며 방사상 등간격으로 배치된 복수의 지지챔버와, 팬챔버와 복수의 지지챔버를 연결하는 연결통로가 각각 형성된 척과, 척의 팬챔버에 삽입되어 회전하는 원심팬을 포함하여 이루어진다. 본 기술은 지지챔버 내에서 공기의 소용돌이가 형성되도록 함으로써, 지지챔 버의 중심부는 웨이퍼를 하향시키는 힘을, 주변부는 웨이퍼를 상승시키는 힘을 각각 작용시키도록 할 수 있다. 따라서 얇은 웨이퍼에 대해서도 그 변형을 최소로하면서 비접촉식으로 지지하는 것이 가능하고, 결과적으로 최종 완제품으로서의 반도체칩에 대한 불량율을 현저히 감소시킬 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
- 보유기관
- 호서대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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