일반기술
웨이퍼 척 조립체
본 기술은 웨이퍼 척에 관한 것으로, 전자기력을 이용하여 웨이퍼와 접촉되는 부분을 최소화함으로써 웨이퍼의 변형을 최소화하고, 웨이퍼의 손상에 따른 파티클 발생을 최소화하도록 한 웨이퍼 척 조립체에 관한 것이다. 전자기력을 이용하여 웨이퍼와 접촉되는 부분을 최소화하도록 웨이퍼를 지지함으로써 웨이퍼의 변형을 최소화하고, 웨이퍼의 손상에 따른 파티클 발생을 최소화함으로써 반도체 소자의 공정불량률을 최소화할 수 있는 이점이 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
- 보유기관
- 호서대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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