일반기술

화학 증착법으로 산화아연 나노 바늘 구조체를 제조하는방법

<기술의 개요>본 기술은 기질 상에 화학 증착법으로 저온에서 산화아연 시드층을 형성시키고, 증착된 산화아연 시드층상에 고온에서 화학 증착법으로 산화아연 나노 바늘을 수직 성장시키는 방법에 관한 것이다.특히 자기조립 분자막이 패터닝된 기질을 사용하여 자기조립 분자막이 형성되지 않은 부분에 산화아연 시드층이 형성되도록함으로서 금속 촉매를 이용하지 않고 금속, 반도체 또는 자기조립 분자 막(self-assembled molecules, SAMs)에 의해 패터닝된 기질 상에서 우수한 결정상, 수직 배향성, 그리고 우수한 광 특성, 전계방출 특성을 가진 산화아연 나노 바늘을 대면적으로 제조할 수 있는 방법에 관한 것이다.특히, 지금까지 공지된 종래 방법과 달리 본발명에 따른 산화아연 나노 바늘을 수직 성장시키는 방법에 따르면 간단한 미세접촉 인쇄 방법과 접목을 통해 열적으로 불안정한 자기조립 분자 막이 패터닝된 기질에서도 그 패턴이 그대로 유지된 산화아연 나노 바늘을 성장시킬 수 있어 그 응용성이 대단히 크다<기술의 특징 및 장점>본 기술에 따는 기질 상에 산화아연 나노 바늘을 성장시키는 방법은 금속 유기물 학 증착법으로 기질의 온도를 두 단계로 조절하여 산화아연 나노 바늘을 제조하는 것을 특징으로 하며, 기존의 LS(Vapor-Liquid-Solid) 방법에 비하여 불순물로 작용하는 어떠한 촉매도 사용하지 않고 나노 바늘을 성장 할 수 있는 장점이다.자기조립 분자 막이 패터닝된 기질 상에서도 그 패턴을 그대로 유지하면서 우수한 특성의 나노 바늘을 성장시킬 수 있다.본 기술에 따른 방법에 의하여 제조된 산화아연 나노 바늘은 우수한 단결정상과 수직 배향성을 가지고 우수한 광특성, 전계방출 특성이 있어 산화아연 나노 바늘의 광소자나 평판디스플레이에 유용하게 이용될 수 있다.