일반기술
저항가열식 박막증착장치
○ 기술발명의 목적 : 본 기술의 도가니의 상부에 원료 물질이 뭉치는 현상을 제거하고 균일한 가열이 가능하도록 상부와 하부의 면적을 다르게 형성한 판상 히터를 사용하는 저항가열식 박막증착장치를 제공하기 위한 것이다.○ 기술 요약 및 특징 : 도가니의 상부에 원료 물질이 뭉치는 현상을 제거하고 균일한 가열이 가능하도록, 박막증착용 고체 원료가 장입되는 도가니와, 도가니에 밀착되어 설치되고 판형상으로 이루어지며 상부의 단면적은 작고 하부의 단면적은 크게 형성하는 히터와, 히터를 지지하며 하부로의 열방출을 차단하는 지지체와, 도가니 및 히터의 외부를 감싸며 외부로의 열방출을 차단하는 열차폐판을 포함하는 저항가열식 박막 증착장치를 제공한다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 박막 제조 기술 (B62, H64)
- 보유기관
- 충남대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-18
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.