일반기술
플라즈마 반응기 및 이를 포함한 장치
○ 기술 요약 및 특징 본 기술은 플라즈마 반응기 및 이를 포함한 장치에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 캐리어가스의 유입구, 시료를 부착할 수 있는 시료 고정대, 벤팅밸브, 및 펌프 및 게이지 연결부를 집약하여 간소화시킨 덮개를 갖는 반응기와 입자상 시료의 경우 상기 반응기의 내부에 마그네틱바를 넣어 입자상 시료와 함께 마그네틱바가 회전될 수 있도록 한 플라즈마 반응기에 관한 것이다. 본 발명에 따른 반응기는 다양한 형태의 시료를 각각 또는 동시에 효율적으로 처리할 수 있으며, 균일한 표면처리가 가능하다.
기술정보
- 기술분류
- 화학 > 기타 화학
- 보유기관
- 충남대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-18
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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