일반기술

화학 기상 증착법에 의해 제조된 리튬 2차 박막 전지

○ 기술발명의 목적 본 발명은, 미세 전자 소자에 구동 전원으로서 기존의 박막전지 구조와는 달리 고용량의 전지를 구현하기 위해 모든 전지의 구성요소를 고상으로 하여 트렌치(Trench)구조위에 화학 기상 증착법을 통하여 단차 피복성을 증가함으로써 컬렉터, 캐소드 및 전해질을 형성하였고 전지의 정전 용량을 향상시키는 방법을 제공○ 기술 요약 및 특징 본 발명은, 화학 기상 증착법에 의해 제조된 리튬 2차 박막 전지에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 박막 전지가 형성되는 평탄 기판(Substrate) 또는 트렌치 기판 위에 순차적으로 형성되는 각 단계의 컬렉터(Collector), 캐소드(Cathode) 및 전해질(Electrolyte)을 형성함에 있어 단차 피복성의 증가를 통해 전지의 정전 용량을 향상시키기 위해 화학 기상 증착법을 사용한 것을 특징으로 하는 리튬 2차 박막 전지에 관한 것이다. 3차원 트렌치 구조 형성 시 화학 기상 증착법을 이용함으로써 기존의 물리적 증착법이 가지고 있는 단점인 단차 피복성의 기술적 한계를 극복하였으며 평탄 전지에서 3차원 구조의 전지 구조를 제작함에 있어 면적 증대로 인한 전지 용량의 증대와 대면적 증착이라는 장점이 있음