일반기술

ＭＯＤ법에 의한 ＩＴＯ ｓｏｌ의 제조

○ 기술발명의 목적 : 본 발명은 MOD(Metal-Organic Decomposition)법을 이용하여 ITO(Indium Tin Oxide) sol을 제조하는 방법에 관한 것이다.○ 기술 요약 및 특징 : MOD(Metal-Organic Decomposition)법을 통하여 ITO(Indium Tin Oxide) sol을 제조하는 방법이 개시되어 있다. 습식화학적 박막 제조방법 중 sol-gel법과 MOD법은 비교적 장치와 공정이 간편하고 박막을 손쉽게 얻을 수 있으며, 특히 CVD나 PVD에서는 다루기 힘든 대용적의 기판이나 복잡한 형상의 기판에도 박막제조가 가능하다는 장점이 있다. 하지만 sol-gel법은 금속 alkoxide를 공통용매에 용해하고 reflux 및 증류(정제) 등의 복잡한 과정을 거쳐 원료준비를 한다. 이러한 원료용액은 수분에 상당히 민감하기 때문에 항상 조절된 분위기가 필요하며 원료용액을 장기간 보관할 때 문제가 발생하기 쉽다. 또한 sol-gel법에서는 박막 형성시 alkoxide의 가수분해를 통한 중합반응이 일어나므로 박막제조를 하기 위해서는 가수분해 속도 및 용매증발을 조절하기 위한 안정제를 원료용액에 첨가하여야 한다. 반면에 MOD법은 분자량이 큰 소수성 용매를 사용하여 원료용액의 수분에 대한 안정성이 증대되며, 코팅 후 건조과정에서도 용매가 모두 증발한 후 중합반응이 발생하기 때문에 박막의 수축이 기판과 평행하게 일어남으로서 균열이 없는 박막을 얻을 수 있다. 따라서 본 발명에서는 이러한 여타 습식법의 단점을 극복하고, 수분에 대해 안정적인 ITO(Indium Tin Oxide) sol을 제조할 수 있는 방법으로 MOD법을 채택하여 (CH3CO2)3In와 C16H36Sn로부터 ITO(Indium Tin Oxide) sol을 제조하였다. 본 발명에 따르면, 전술한 각각의 출발물질과 공통용매인 C8H16O2를 혼합하여 일정 몰비로 200℃의 온도범위에서 교반하면서 5시간 이상 유지한다. 그 결과로서 생성된 투명한 노란색의 sol은 시간이 지나면서 적갈색의 sol이 되는데 여기에 수분에 대한 안정성을 높이기 위해 소수성 용매를 첨가하고 일정시간 숙성시키면 안정한 sol을 얻을 수 있다.