일반기술

ＭＯＤ법에 의한 ＩＴＯ 투명전도성 박막의 제조

○ 기술발명의 목적 : 본 발명은 MOD(Metal-Organic Decomposition)법을 이용하여 ITO(Indium Tin Oxide) 투명전도성 박막을 제조하는 방법에 관한 것이다.○ 기술 요약 및 특징 : MOD(Metal-Organic Decomposition)법을 통하여 ITO(Indium Tin Oxide) 투명전도성 박막을 제조하는 방법이 개시되어 있다. 기존의 ITO(Indium Tin Oxide) 박막의 제조방법은 물리적방법인 진공증착, 전자 beam 증착, 스퍼터링 등과 화학적방법인 sol-gel법, 염화물 등의 열분해를 이용한 방법 등이 사용되고 있다. 습식화학적 방법들은 원료준비 단계에서부터 분자단위에 이르는 혼합이 이루어져 복잡한 조성의 성분도 제조가 가능하고 박막의 조성을 쉽게 조절할 수 있으며, 용액의 농도, 점도, 표면장력 등을 조절이 쉬워 박막 제조방법도 dipping, spinning, spraying 등으로 CVD나 PVD에서는 적용하기 힘든 대용적이나 복잡한 형상의 기판에도 가능하다는 이점이 있다. 또한 장치와 공정이 간단하고 제조비용도 상대적으로 저렴하다는 장점이 있다. 또 같은 습식법 중 sol-gel법은 금속알콕사이드의 수화반응을 이용하므로 원료비가 비싸고, 원료용액이 수분에 민감하기 때문에 조절된 분위기가 필요한 반면 MOD(Metal-Organic Decomposition)법은 소수성 용매를 사용하기 때문에 수분에 대한 안정성이 뛰어나며, 코팅 후 건조과정에서도 용매가 모두 증발한 후 중합반응이 발생하기 때문에 박막의 수축이 기판과 평행하게 일어남으로서 균열이 없는 박막을 얻을 수 있다.본 발명에서는 이러한 여타 습식법의 단점을 극복하고, 고특성의 투명전도성 ITO(Indium Tin Oxide) 박막을 제조할 수 있는 방법으로 MOD법을 채택하여 (CH3CO2)3In와 C16H36Sn로부터 ITO(Indium Tin Oxide) 투명전도성 박막을 제조하였다. 본 발명에 따르면, 전술한 각각의 출발물질과 공통용매인 C8H16O2를 혼합하여 일정 몰비로 200℃의 온도범위에서 교반하면서 5시간 이상 유지한다. 그 결과로서 생성된 투명한 노란색의 sol은 시간이 지나면서 적갈색의 sol이 되는데 여기에 소수성 용매인 2-Ethyl-1-hexanol을 첨가하여 수분에 대해 안정적인 ITO(Indium Tin Oxide) sol을 얻을 수 있다. 이 sol을 점도를 조절한 후 도3에서 보인 Coater를 사용하여 코팅 후 건조와 열처리를 통하여 투명전도성 박막을 얻을 수 있다.