일반기술

내전극 정전결합형 고분자 박막 제조장치

캐리어 가스를 유입하여 방전시키는 방전관과 상기 방전관 하부에 상기 방전관과 연통되도록 설치되고 단량체인 모노머 가스를 유입하여 소정 기판틀 위에 놓여지는 기판에 고분자 박막을 퇴적 형성시키는 반응기를 구비하는 플라즈마 중합 장치에 있어서, 상기 캐리어 가스를 방전시키기 위하여 상기 방전관 상하의 양단 부위에 상기 캐리어 가스에 노출되도록 방전 전극을 형성한 것을 특징으로 하는 내전극 정전 결합형 고분자 박막 제조 장치.본 발명은 방천관 상하의 양단 부위 위치에 캐리어 가스에 노출되도록 방전 전극을 형성함으로써 최저의 방전 에너지 수준에서 안정된 방전을 수행할 수 있으며, 알루미늄 재질의 노즐이 반응기 내부로 돌출되어 있기 때문에 방전 가스에 충돌되는 단량체 입자들이 골고루 퇴적되고 이온화된 입자들이반응영역에서 방전 영역으로 역류되는 것을 방지할 수 있다. 또한 반응기 내부의 기판를 주변에 냉각수가 공급되는 냉각수 유로를 형성함으로써 퇴적된 입자가 기판된 입자가 기판의 온도 상승에 의해 변질되거나 활성화되는 것을 최소화할 수 있다.