일반기술

폴리비닐리텐플루오라이드(PVDF)박막과 일렉트렉트 제조장치

진공 증착조내에서 고분자 원재료를 가열 증발시켜서 고분자 박막을 제조하는 장치로서, 원재료를 가열하여 증발시키는 가열부와, 박막을 형성하고자 하는 기판면으로 원재료 기체 분자가 유입되는 경로상에 위치하며 다수의 구멍이 형성된 메시와, 상기 메시(6) 위에 직접 고정하여 기체 분자가 직접적으로 전압에 노출되는 것을 방지하는 스페이서(7)와, 상기 메시(6)에 선택적으로 고전압의 부전계를 공급하여 기판면에 정전계를 유도시켜서 유입되는 기체 분자의 배향을 제어하는 고전압 발생기를 구비한 기판부와, 상기 기판을 상부에서 가열하는 할로겐 램프(1a)와 기판 온도를 검출하여 일정하게 유지 제어하는 온도 조절기를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리비닐리덴 플루오라이드 박막과 일렉트렛트 제조 장치. 본 발명에 따르면, 진공 증착 장치조내에서 PVDF 박막 및 일렉트렛트를 선택적으로 제조할 수 있으며, PVDF 박막 제조시 박막에 불순물의 혼입을 줄일 수 있고, 기판의 온도를 고온으로 유지함으로써 결정화도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.