일반기술
고분자 박막 증착을 위한 개량된 크누드센 셀
본 발명은 고분자재료를 기판에 증착하기 위한 진공증착장비의 핵심적인 구성품인 크누드센 셀(Knudsen, K-cell)에 관한 것으로, 특히 온도제어가 가능하고 시료를 충분히 증발시킬 수 있도록 시료가열방식이 개량된 크누드센 셀(Knudsen cell:이하 케이-셀이라 함)에 관한 것이다. 본 발명에 따른 케이-셀은 시료를 적재할 수 있는 H빔 형상의 원통형 시료용기와, 상기 시료용기의 측면 및 상기 시료가 적층되는 상기 시료용기의 H빔 수평부를 가열하기 위한 발열원들과, 상기 발열원들이 서로 다른 내면 일부에 장착되며, 상단면 일부에 방출구경이 형성되어 상기 원통형 시료용기를 밀폐시키는 차폐용 외관으로 구성된다. 따라서 본 발명은 시료용기를 복수가열방식 즉, 시료가 적층되는 부분과 그 측면을 동시에 가열함으로써, 시료의 잔류현상을 제거할 수 있음은 물론, 고분자 재료의 증착효율을 증가시킬 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 산업용 전기전자
- 보유기관
- 인하대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-27
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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