일반기술
졸-겔 공정을 위한 용액 합성장치
본 발명은 졸-겔(sol-gel) 공정에 의한 강유전체 박막의 용액 합성장치에 관한 것으로서, 복수개의 관통구를 가지며 출발물질과 용매제를 반응시켜 졸-겔 용액을 만드는 플라스크와, 상기 플라스크에 연통되게 설치되어 가열시 발생되는 기체 부산물을 냉각 증류시키는 증류장치로 구성된 졸-겔 공정을 위한 용액 합성장치이다. 상기 플라스크의 관통구는 출발물질 또는 용매제를 투입시키기 위한 것으로 통로상에 개폐수단이 구비되어 있는 실린더를 포함하고 있으며, 상기 증류장치는 상기 플라스크의 한 관통구에 연통되게 설치되는 증류관, 내부에 냉매가 충진되며 상기 증류관에 위치되는 냉각관, 상기 냉각관의 냉매를 순환시키는 펌프를 포함하는 특징이 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 산업용 전기전자
- 보유기관
- 인하대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-27
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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