일반기술
진공증착장치의 기판홀더
본 발명은 열과 전계에 강한 기판홀더와 박막의 균일성을 향상시키기 위한 메시(mesh)를 구비하는 진공증착장치의 기판홀더에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에 따른 기판홀더는; 기판을 위치시키기 위한 상부 홀더와, 전계를 인가하기 위한 메시의 양 끝단을 지지하기 위한 메시 지지대들과, 나사선이 형성된 하나 이상의 끝단이 상기 메시 지지대들을 관통하며, 관통된 메시 지지대 일부에 밀착되어 상기 메시 지지대들의 이격거리를 조절하기 위한 결합수단과 짝을 이루는 이격거리 지지대와, 상기 메시 지지대 상부면에 결합되어 상기 메시의 양 끝단을 상기 메시 지지대들에 고정시키는 메시 고정판들로 구성되는 메시 홀더와, 상기 상부 홀더와 메시 홀더를 지지해 주기 위한 하부 홀더로 구성함으로써, 메시의 평탄성을 유지함은 물론, 상술한 바와 같은 구성을 가지는 기판홀더를 가공성 세라믹 재질로 제작함으로써 열과 전계에 강한 특징을 갖는다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 산업용 전기전자
- 보유기관
- 인하대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-27
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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