일반기술

효율적인 계산 시간을 갖는 3차원 이온주입 수치해석 방법

본 발명은 반도체 장치의 이온주입 공정에 대한 3차원 수치해석기 구축에 관한 것으로서, 복잡한 토폴로지 형태를 갖는 3차원 다층 구조의 대면적 시뮬레이션 영역에서 빠른 수행 시간을 갖는 이온주입 시뮬레이터 제작 방법을 제공한다.본 발명의 3차원 이온주입 공정 시뮬레이터는 계산 시간의 최적화를 위해서 단위 3차원 공간에서 가상 궤적 발생법(trajectory split method)을 적용하여 계산하였으며, 계산된 결과를 대면적 3차원 구조에 적용하기 위하여 이온 분포 복사법(ion distribution replica method)을 개발하여 적용하였다. 본 발명의 3차원 이온주입 시뮬레이터는 3차원 반도체 구조 형성을 위하여 3차원 공정 시뮬레이터 3D-SURFILER의 한 모듈로서 개발되었다. 이와 같이 본원 발명은 정확한 물리적 해석을 기반으로 한 이온주입 모델과 연계하여 서브 하프 마이크론급 미세 소자의 시뮬레이션에 적용한다면, ULSI 소자 개발비용 및 시간을 크게 단축할 수 있으리라 기대된다.