일반기술
스핀코터용 진공척
본 발명은 스핀코터용 진공척에 관한 것으로, 보다 상세하게는 진공을 분산시켜 흡착시킬 수 있을 뿐만 아니라 다양한 크기의 웨이퍼를 흡착시킨 후 증착시킬 수 있어 하나의 진공척으로 모든 크기의 웨이퍼를 증착시킬 수 있는 스핀코터용 진공척에 관한 것이다. 본 발명은 웨이퍼를 흡착시켜 얇은 막을 증착시키도록 회전되는 스핀코터용 진공척에 있어서, 상기 진공척의 축에 고정된 회전판(10)상에 십자형으로 구비되되, 중앙부에 하나의 진공흡입구(22)가 구비되고 상기 진공흡입구(22)를 기준으로 상,하,좌,우에 일정 간격으로 관통된 한쌍의 보조 진공흡입구(24)가 구비된 판상의 진공흡입판(20)과; 상기 진공흡입판(20)의 보조 진공흡입구(24)를 개폐하도록 상기 회전판(10)의 내부에 구비되는 진공조절판(30)을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
- 보유기관
- 조선대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-27
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.