일반기술
씨엠피장비의 슬러리 공급 노즐
본 발명은 씨엠피장비의 슬러리 공급 노즐에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고온의 슬러리를 사용함으로서 연마 대상의 연마율을 향상시킴과 아울러 마이크로 스크래치 등의 손상이 없는 상태로 우수한 표면 거칠기를 확보할 수 있으며, 소모재의 추가 구입비용 없이 높은 공정 수율을 얻을 수 있는 씨엠피장비의 슬러리 공급 노즐에 관한 것이다. 본 발명은 슬러리를 유동시키는 펌프와 연통되어 패드의 상부면에 슬러리를 공급하는 씨엠피장비의 슬러리 공급 노즐에 있어서, 상기 노즐(10)에는 공급되는 슬러리의 온도를 감지하기 위한 온도센서(12)가 장착되고, 상기 노즐(10)의 외주면에는 상기 슬러리를 가열시켜 연마테이블(30)에 부착된 패드(32) 상에 고온의 슬러리를 공급시키도록 코일형의 열선(14)이 구비되며, 상기 온도센서(12) 및 열선(14)을 제어하기 위한 컨트롤러(16)가 구비된 것을 특징으로 한다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 기계
- 보유기관
- 조선대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-27
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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