일반기술
직류 아크 프라즈마론 장치
본 발명은 플라즈마의 순도를 높일 수 있고 늘어난 수명을 가지며 플라즈마의 비평형도를 높여 화학적인 활성을 증가시키고 플라즈마 변수의 재현성 향상과 개시과정의 효율성을 가진 직류 아크 프라즈마트론 장치에 관한 것이다. 본 발명으로 플라즈마의 순도를 높일 수 있는 직류 아크 프라즈마트론 장치를 제공하게 되었다. 본 발명으로 늘어난 수명을 가지는 직류 아크 프라즈마트론 장치를 제공하게 되었다. 본 발명으로 플라즈마의 비평형 도를 높여 화학적인 활성을 증가시키는 직류 아크 프라즈마트론 장치를 제공하게 되었다. 본 발명으로 플라즈마 변수의 재현성 향상과 개시과정의 효율성을 가진 직류 아크 프라즈마트론 장치를 제공하게 되었다
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 에너지·환경기계
- 보유기관
- (재)광주테크노파크
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-27
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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