일반기술
미세 물질층 상의 전극 형성 방법
본 발명에 따르는 미세 물질층 상의 전극 형성(부착) 방법은 기판 위에 전극을 형성(부착)하고자 하는 미세 물질층을 살포하는 것을 포함한다. 상기 미세 물질층 상에 전극막을 형성하여 상기 미세 물질층을 고정한다. 상기 미세 물질층 상의 전극막중에서 측정 부위를 기준으로 상기 전극막을 집속 이온빔 가공법으로 직접적으로 식각하여 구획된 전극 패턴을 형성(부착)한다. 이상과 같은 본 발명의 미세 물질층 상의 전극 형성 방법은 미세 물질층들을 전극막을 증착하여 고정하고, 선택된 미세 물질층을 기준으로 전극막을 집속 이온 가공법으로 바로 식각하여 전극 패턴을 용이하게 형성할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 미소·극미소기전시스템장비
- 보유기관
- (재)광주테크노파크
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-27
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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