일반기술

주사광학측정장치

Near-field optical scanning microscope 에 간섭계를 부착한 장비는 매우 작은 시료를 높은 해상도(~ 수십 nm)로 이미지를 얻는 것이 가능하며, 시료의 위상정보를 측정할 수 있다. 그러나 관찰할 수 있는 영역이 제한되며( ~수 um) image를 얻는데 시간이 오래걸린다. 빠른 스캔속도를 가지고, 넓은 영역을 스캔할 수 있는 장점을 가지고 있는 confocal microscope는 상대적으로 NSOM보다는 낮은 해상도를 가지고 있어 (~수백 nm) 특정영역의 광학적 특성 및 image를 얻기 어려운 점이 있다. 본 발명은 시료 중 원하는 영역을 빠르게 관찰하거나 혹은 자세히 관찰하려 할 때 시료의 이동없이 간단한 mirror의 위치변환으로 시료를 스캔하는 mode를 전환할 수 있으며, 필요에 따라서 confocal image와 Near-field image를 동시에 얻을 수 있는 장점이 있다.