일반기술
플라즈마 증착장비 및 이를 이용한 수소 포함 및 비정질 탄소박막제조방법
본 발명은 플라즈마 증착장비 및 이를 이용한 수소포함 비정질 탄소박막 제조방법에 관한 것으로, 플라즈마 증착장비의 전극을 전자의 이동이 원활한 그물형태로 변환하여, 소스기체의 이온화율을 증가시킴으로써, 저가의 직류전원으로 낮은 압력에서도 원하는 밀도의 플라즈마를 생성하며, 그 플라즈마를 안정된 상태에서 균일하게 유지함으로써 제조되는 수소 포함 비정질 탄소박막의 균일도를 향상시키는 효과가 있다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 미소·극미소기전시스템장비
- 보유기관
- 연세대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-27
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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