일반기술

액정 디스플레이용 액정배향막의 제조방법

본 기술은 액정 디스플레이용 액정배향막에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판 위에 PLC(Polymer-Like Carbon)박막을 증착하고 이 박막을 이온빔에 의해 표면처리하여 액정배향막을 제조함으로써 종래 액정배향막의 문제점을 해결하는 것에 관한 것이다.본 기술은 종래 액정배향막의 문제점과 한계를 극복하기 위하여, (A) 기판 위에 진공증착법에 의해 박막내 수소함량이 30원자%를 초과하는 PLC 박막을 증착하는 단계, (B) PLC 박막을, 100 ~ 300 EV의 에너지를 갖는 이온빔으로 표면처리함으로써, 광학적 대역폭이 1.5 EV 이상인 PLC 박막 액정배향막을 형성하는 단계로 이루어지는 액정 디스플레이용 액정배향막의 제조방법을 제공한다. 여기서, 표면처리시, 이온빔이 박막에 10°~ 70°의 각도로 조사되는 것이 바람직하고, (B) 단계 이전에 PLC 박막은 플라즈마 에칭 또는 이온빔 에칭 단계를 추가로 거치는 것이 바람직하다.