일반기술

전도성 라인 형성을 위한 패터닝 장치

본 발명은 전도성 라인 형성을 위한 패터닝 장치에 관한 것으로서, 잉크젯 분사에 비하여 상대적으로 큰 입경의 노즐을 이용해 더욱더 미세하고 균일한 크기의 액적을 얻을 수 있으며, 원뿔형 액주모드로부터 분무된 젯의 랜덤 운동으로 인한 라인 패턴의 왜곡을 방지하면서 단락없이 원하는 위치에 패터닝할 수 있는 효과가 있다. 이를 위한 본 발명에 의한 전도성 라인 형성을 위한 패터닝 장치는, 금속 입자가 포함된 용액을 일정한 수력학적 압력으로 분무하는 노즐; 상기 노즐로부터 이격된 거리에 위치하는 핀형상의 접지전극; 상기 노즐과 상기 접지전극 사이에 위치하는 기판; 상기 기판을 유지하면서 이동시키도록 상기 기판의 하부에 위치하는 스테이지; 상기 노즐로부터 분무되는 상기 용액을 관통시키도록 상기 노즐과 상기 기판 사이에 위치하는 가이드 링; 및 상기 노즐과 상기 접지전극 사이에 전압을 인가하는 전원공급장치를 포함하고, 상기 용액이 분무될 때 상기 전원공급장치로부터 상기 노즐과 상기 접지전극 사이에 전압을 인가하여 분무형태를 원뿔형 액주모드로 변환시키고, 상기 원뿔형 액주모드로부터 분무된 젯을 상기 가이드 링으로 관통시키면서, 상기 변환된 분무형태로 미리 설정된 패턴형상에 따라 상기 용액을 상기 기판에 부착시키는 것을 특징으로 한다.