일반기술
층상형 마이크로 열유속 센서
본 발명은 열유속을 측정하고자 하는 물체의 대상표면에 접촉되는 실리콘 기판; 상기 실리콘 기판의 상단면에 구비되는 절연층; 상기 절연층 상단면에 구비되는 열저항층; 상기 절연층 및 상기 열저항층 사이에 구비되는 내부히터; 상기 열저항층의 상단면, 측면 및 열저항층이 절연층과 연결설치되지 않은 부분에 형성된 열전대쌍을 포함하는 것을 특징으로 하는 층상형 마이크로 열유속 센서에 관한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 보건·의료기계
- 보유기관
- 연세대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-27
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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