일반기술

습도 센서 및 그 제조방법

본 발명은 습도의 변화에 따른 고주파 시스템의 성능을 예측 및 제어할 수 있도록 높은 안정성과 감도를 갖으며, 구조적 복잡성 또한 야기하지 않으면서 고주파 시스템에 집적이 가능한 습도센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 유리기판, 상기 유리기판 상부에 형성된 파장 변환기, 상기 파장 변환기 일측에 연결된 스트립 급전선(strip feeding line), 상기 파장 변환기 상부에 형성된 미앤더 패치(meander patch)로 이루어진 스트립 패치형 안테나, 그리고 상기 미앤더 패치 상부에 형성되며, 소수성(hydrophobic) 원소를 포함하지 않는 폴리이미드(polyimide)로 이루어진 감습층(humidity sensing layer)을 포함하여 구성되는 습도센서를 제공한다. 따라서 센서의 안정성 및 감도가 우수하고, 임피던스 매칭 등의 부가적 회로가 필요 없어 구조적 복잡성을 야기함 없이 용이하게 집적할 수 있으며, 간단한 제조과정을 통해 구현이 가능하여 저렴한 생산단가로 대량생산이 가능하다.