일반기술

습도 센서 및 그 제조방법

본 발명은 습도의 변화에 따른 고주파 시스템의 성능을 예측 및 제어할 수 있도록 높은 안정성과 감도를 갖으며, 구조적 복잡성 또한 야기하지 않으면서 고주파 시스템에 집적이 가능한 습도센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 유리 기판, 상기 유리기판 상부에 형성되며, 중앙에 링(RING), 상기 링 외곽을 따라 일정간격을 형성하는 슬롯라인, 상기 슬롯라인에서 서로 반대방향으로 최단영역까지 연장된 한 쌍의 코플래나 웨이브 가이드(COPLANAR WAVEGUIDE:CPW) 급전선으로 이루어진 공진기, 그리고 소수성(HYDROPHOBIC) 원소를 포함하지 않는 폴리이미드(POLYIMIDE)로 이루어져 상기 공진기를 덮고 있는 감습층(HUMIDITY SENSING LAYER)으로 이루어지는 습도센서를 제공한다. 따라서 센서의 안정성 및 감도가 우수하고, 임피던스 매칭 등의 부가적 회로가 필요 없어 구조적 복잡성을 야기함 없이 용이하게 집적할 수 있으며, 간단한 제조과정을 통해 구현이 가능하여 저렴한 생산단가로 대량생산이 가능하다.