일반기술

루테늄 옥사이드 수화물 박막 전극 제조 방법 및 장치

본 발명은 슈퍼캐패시터(supercapacitor)용 루테늄 옥사이드(ruthenium oxide) 박막 전극에 관한 것으로 강한 전기장이 형성된 가운데 루테늄 전구(前驅) 용액(ruthenium precursor solution)을 분사시켜 매우 미세한 입자의 다공성 박막전극을 형성시키는 방법에 관한 것으로, 전구(前驅)용액이 장입되고 상기 전구 용액을 분사하는 주사기; 상기 전구 용액이 분사되는 기판; 상기 기판을 지지하며, 상기 기판을 가열하기 위해 내부에 할로겐 램프를 포함하는 기판 지지대; 상기 기판 지지대와 주사기에 연결된 직류전원 장치; 상기 기판 지지대와 상기 주사기 사이의 거리를 조절하는 거리조절 장치 및 상기 기판 지지대의 온도를 조절하는 온도조절기로 구성되며, 기존의 슈퍼캐패시터(supercapacitor)용 루테늄 옥사이드(ruthenium oxide) 전극 또는 루테늄 옥사이드와 활성화 탄소를 혼합한 복합전극과 비교시 우수한 성능의 전극을 제조하는 것이 가능하면서도 종래의 제조법에 비해 훨씬 간단하며 공정 시간도 단축시킬 수 있는 루테늄 옥사이드 수화물 박막 전극 제조 방법 및 장치에 관한 것이다.