일반기술
금속산화물 및 금속질화물 나노구조의 제작
본 발명은 서로 다른 광학적, 전기적 성질을 가진 금속산화물 또는 질화물 박막 및 나노선의 제조를 다양한 기판 상에서 표면처리방법을 달리하기 위해 도출 되었다. 따라서, 산화아연 박막을 도포하기 전에 자연산화막을 제거하여 준다. 자연산화막이 제거된 기판 위에 산화아연 박막을 도포하고, 산화아연 박막 위에 산화아연 나노선을 성장시킨다.
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 기타 분자·나노 화학공정 기술
- 보유기관
- 연세대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-27
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.