일반기술
정렬키, 정렬키 형성 방법 및 이를 이용한 레이저 결정화 방법
본 발명은 반도체 소자 제조공정 중에 수행되는 장비의 얼라인을 위해 형성되는 정렬키를 형성함에 있어서, 기판 상에 형성된 비정질 실리콘층 상에 레이저광을 조사하여 조사된 부위의 비정질 실리콘층이 어블레이션을 일으켜 형성되는 정렬키, 정렬키 형성 방법 및 이를 이용한 레이저 결정화 방법을 제공한다.
기술정보
- 기술분류
- 화학공정 > 기타 분자·나노 화학공정 기술
- 보유기관
- 연세대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-27
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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