일반기술
초정밀 위치결정기술
-servo 구동장치 및 Ball Screw Table에 의한 초정밀 위치결정기술-Co급 Table 사용시 위치결정정도 : 0.2㎛-위 경우 이송속도 : 최고 250mm/sec-저속이송속도 : 1㎛/sec-Look-up Table에 의한 오차보정-온도에 따른 오차보정-Laser Scale에 의한 위치정보 측정
기술정보
- 기술분류
- 정보 > 기타 소프트웨어
- 보유기관
- 한국기계연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-06-16
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.