일반기술

마이크로 크기 라인 형성을 위한 패터닝 장치

본 발명은 마이크로 크기 라인 형성을 위한 패터닝 장치에 관한 것으로서, 낮은 전압 조건에서 마이크로 크기의 미세한 라인을 구현할 수 있는 효과가 있다. 이를 위한 본 발명에 의한 마이크로 크기 라인 형성을 위한 패터닝 장치는, 기판상에 입자상 물질을 패터닝하는 패터닝 장치에 있어서, 상기 입자상 물질이 포함된 용액을 일정한 수력학적 압력으로 분무하는 노즐; 상기 노즐로부터 이격된 거리에 위치하는 원뿔형 접지전극; 상기 노즐과 상기 접지전극 사이에 위치하며, 상기 기판을 유지하면서 이동시키는 스테이지; 및 상기 노즐과 상기 접지전극 사이에 전압을 인가하는 전원공급장치를 포함하고, 상기 용액이 분무될 때 상기 전원공급장치로부터 상기 노즐과 상기 원뿔형 접지전극 사이에 전압을 인가하여 분무형태를 원뿔형 액주모드로 변환시키고, 상기 변환된 분무형태로 미리 설정된 패턴형상에 따라 상기 용액을 상기 기판에 부착시키는 것을 특징으로 한다.