일반기술
분배 유로를 갖는 열센서와 그 제조방법
본 발명은 기판(2); 상기 기판(2)의 상단면 일측에 형성된 제 1 열저항층(4); 상기 제 1 열저항층(4) 상단면에 형성된 열전대층(6); 상기 열전대층(6)이 형성되지 않은 제 1 열저항층(4)의 상단면 일측 및 상기 열전대층(6) 상단 일측에 고온 접합부(18)와 저온 접합부(16)를 구분하기 위해 형성된 제 2 열저항층(8); 및 상기 제 2 열저항층(8) 상단에 형성되어 분배 유로의 외형을 제공하는 분배 유로층(10)을 포함하는 분배 유로를 갖는 열센서에 관한 것이다.본 발명은 열전도성이 낮은 열저항층 상단면에 열전대를 형성하여 기판으로 빠져나가는 기생열전달 효과를 감소시킬 수 있고, 열전대 상단에 분배 유로를 형성하여 접합부의 온도 조절을 위한 가열기 삽입 및 상기 가열기를 이용한 온도 조절 과정을 생략할 수 있는 효과가 있다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 보건·의료기계
- 보유기관
- 연세대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-27
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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