일반기술
Wurtz-type reductive coupling을 이용한 비정질 실리콘 박막의 액상 제작 공정
본 발명에서는 solution 공정에서 실리콘 박막 제작을 위한 재료가 되는 polysilane을 합성할 때, cyclosilane을 사용하지 않고 곧바로 고분자로 합성하여 액상 공정에 응용하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 연세대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-27
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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