일반기술
자가 패턴성 유-무기 하이브리드 솔-젤 용액, 이를 이용한 유전체 박막 제조 방법, 및 이를 구비한 유기 박막 트랜지스
본 발명에 따른 자가 패턴성 유-무기 하이브리드 실리카계 솔-젤 용액은 중심원소로서 실리콘을 포함하며 자외선 광감성 유기관능기를 갖는 제1전구체와 중심 원소로서 실리콘 또는 전이금속을 가지는 제2전구체를 포함한다. 상기 솔-젤 용액은 습식 공정에 의해 다양한 기판 위에 유전체 박막으로 형성될 수 있다. 또한, 박막 형성 온도를 낮출 수 있어 유연성 플라스틱 기판 위에 성막이 가능하다. 형성된 박막은 자가 패턴성을 가지므로 포토리지스트 없이도 패턴화될 수 있다. 따라서, 유기 박막 트랜지스터를 비롯하여 다양한 유연성 디스플레이 및 유연성 전자 소자를 구현할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전자요소 기술
- 보유기관
- 연세대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-27
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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