실리콘계 나노선 표면의 선택적 금속규화물화 방법 및 이에 의해 제조된 반도체 소자

기술정보

기술분류

화학공정 > 기타 분자·나노 화학공정 기술

보유기관

연세대학교

기술유형

일반기술

등록일

2007-12-27

데이터 갱신일

정보 없음

관련 특허

등록된 관련 특허가 없습니다.