일반기술

점가열 점측정에 의한 국소 열물성 측정장치 및 측정방법

본 발명은 교류전류로 열전탐침의 열전쌍 접점을 가열하면서 동시에 열전쌍 접점의 온도 변화를 추적함으로써 열전탐침의첨단과 접촉하고 있는 나노스케일의 샘플에 대한 국소 열물성을 계측하는 점가열 점측정에 의한 측정장치 및 측정방법에 관한 것으로서, 통전이 가능하도록 이중의 전도성 박막이 적층되어 있는 열전쌍 탐침과, 상기 열전 탐침의 외팔보에 연결되어 교류전류를 공급하며 상기 열전쌍 탐침과 샘플간의 접점에서 상기 전도성 박막에 발생하는 열전전압신호를 분리하는 록인(lock-in) 증폭기와, 열전쌍 탐침에 직렬로 연결되어 신호측정시 구동전압을 제거하는 가변저항기와, 상기 가변저항기에 연결되어 상기 탐침이 샘플표면을 주사하는 동안 전류의 크기를 일정하게 유지시키는 부가저항과, 상기 탐침에서 발생하는 열전전압을 증폭시키는 차동증폭기를 포함하는 것을 특징으로 하여, 주사탐침열현미경 탐침의 일종인 열전 탐침(thermoelectric probe)을 활용하여 국소열물성을 측정할 수 있고, 교류전류로 열전 탐침의 열전쌍 접점을 가열하면서 동시에 열전쌍 접점의 온도 변화를 추적함으로써 열전탐침의 첨단과 접촉하고 있는 샘플의 국소 열물성을 측정할 수 있는 장점이 있다.