일반기술
광디스크 제작용 금형을 위한 마스터의 FIB가공시 발생되는 버어의 크기 감소방법
본 발명은 광디스크 제작용 마스터 디스크의 집속이온빔 가공시 발생되는 버어의 크기 감소방법에 관한 것으로, 그 목적은 집속이온빔을 이용한 마스터 디스크의 제작시 패턴의 주위에 발생되는 버어의 크기를 감소시킬 수 있도록 하는 방법을 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 집속이온빔을 이용하여 마스터 디스크를 제작함에 있어서, 준비된 규소 웨이퍼에 집속이온빔을 조사하되, 보조가스로서 XeF2 또는 l2를 함께 공급하여 이방성 특성과 등방성 특성이 동시에 일어나도록 유도하고, 상기 집속이온빔이 각 패턴의 길이방향과 평행한 상태로 기울어진 상태에서 조사되도록 함과 더불어 포토레지스트를 이용하기 위한 Ni, Cu, Cr 금속 증착공정기술을 포함하는 광디스크 제작용 마스터 디스크의 집속이온빔 가공시 발생되는 버어의 크기 감소방법에 관한 것을 그 기술적 요지로 한다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 산업·일반기계
- 보유기관
- 한국생산기술연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-12-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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