일반기술

나노 구조 코팅용 타켓 제조공정 및 그 제품

본 발명은 타겟 제조공정 및 그 제품에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고속용 가공공구에 사용되는 스퍼터링이나 아크 이온 플레이팅용 타겟 개발을 위한 나노 구조 코팅용 타겟 제조공정 및 그 제품에 관한 것이다.이를 위해, 원료 분말과 볼을 일정 비율의 장입비로 혼합한 후 기계적 합금화 공정을 수행하여 원료 분말 내부에 Ti, Al, Si 원소를 일정하게 분포시키는 동시에 분말 내부의 결정립을 나노 크기로 미세 입자화하고, 미세 입자화한 원료 분말을 투입 한 후, 스파크 플라즈마 소결공정을 수행하여 원료 분말 내부에 Ti, Al, Si 원소를 일정하게 분포시키는 동시에 분말 내부의 결정립을 나노 크기로 미세 입자화한 상태의 소결체를 형성하여 타겟을 제조하는 것을 특징으로 한다. 상기한 구성에 따라, 기계적 합금화 공정과 스파크 플라즈마 소결공정을 통해 원료 분말 내부의 결정립을 나노 크기로 미세 입자화할 수 있고 분말을 균일한 크기로 확보할 수 있으며, 원료 분말 내부에 Ti, Al, Si 합금 원소를 균일하게 분포할 수 있게 됨으로써, 물성이 우수한 Ti-Al-Si 합금 소결체를 제조하여 고속용 가공공구의 차세대 나노 구조 코팅 재료로 사용할 수 있는 효과가 있다.