일반기술

극초정밀 광소자 정렬 장치

본 발명은 극초정밀 위치 제어 능력이 우수한 압전 액츄에이터와, 탄성범위내에서 변위 확대 구조를 갖는 플렉셔에 의해 제작된 3자유도 스테이지에 영역 탐색 알고리듬과 극점 탐색 알고리듬을 적용하여 광소자 최적 정렬 위치를 찾는 극초정밀 광소자 정렬 장치에 관한 것이다.본 발명에 따른 극초정밀 광소자 정렬 장치는 변위를 발생시키기 위한 압전 액츄에이터와, 압전 액츄에이터에 의해 발생되는 변위를 확대하여 안내하기 위한 플렉셔와, 발생된 변위를 감지하여 절대좌표를 검출할 수 있는 정전용량형 센서와, 광신호를 발생하는 출력부와 광신호 검출할 수 있는 입력부로 구성되어진 광파워미터와, 광신호의 이동 통로가 되는 광섬유 및 광소자와, 정전용량형 센서에서 검출된 3자유도 위치 궤환신호를 ANALOG/DIGITAL(이하 "A/D"라 함) 변환기에서 입력받아 히스테리시스 오차를 보정하여 다시 DIGITAL/ANALOG(이하 "D/A"라 함) 변환기로 출력함으로써 압전 액츄에이터를 구동하여 히스테리시스 오차를 보정하며 광신호를 이용하여 영역 탐색 알고리듬과 극점 탐색 알고리듬을 수행할 수 있는 중앙제어장치와 중앙컴퓨터를 구비한다.이러한 구성에 의하여, 본 발명에 의한 극초정밀 광소자 정렬 장치는 압전 액츄에이터가 갖는 히스테리시스 오차를 보상하여 정밀한 위치 제어가 가능한 극초정밀 다축 스테이지에 영역 탐색 알고리듬과 극점 탐색 알고리듬을 적용함으로써 광소자를 정밀하고 빠르게 정렬할 수 있게 된다.